第710章 精度零点一零微米！
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“你也懂浸没式理论的变种？”
“这可是英特尔那帮人在实验室里都不敢随便尝试的野路子……”
“因为太费钱，太费时间！但理论上……可行！”
张院士的眼睛越来越亮，最后猛地把烟蒂按灭在烟灰缸里，一把抓住许哲的胳膊，力气大得惊人。
“走！跟我去实验室！”
穿过两条幽暗的走廊，在一间恒温恒湿的净化车间里，许哲见到了一台庞然大物。
它像一只沉睡的钢铁巨兽，外壳的漆面有些剥落，露出了底下的金属色泽。
“这是十年前咱们咬牙从国外引进的，当时可是宝贝疙瘩！”
“后来那是咱们技术不行，用不好，加上人家技术封锁，怕坏了零件也没处修，就一直半闲置着。”
张院士拍了拍机身，眼神像是在看一位并肩作战的老战友。
“你要的深紫外光源，它有！”
“既然你要玩命，咱们就拿它当枪，试试你那个多重曝光的疯狂想法！”
……
接下来的三个月，时间仿佛在这个地下实验室里失去了意义。
没有白天黑夜，只有日光灯惨白的嗡鸣声和机器运转的低吼。
许哲仿佛回到了前世高考前的冲刺，甚至比那时候更疯。
他的衬衫早就分不出颜色，胡茬像杂草一样爬满了半张脸。
“参数不对！第一次曝光的对准偏差超过了五纳米，重来！”
“光刻胶厚度不均匀，刻蚀完图形塌陷了，这一批全部报废！”
“这根本就是不可能完成的任务！我们是在用大刀雕刻米粒！”
实验室的垃圾桶里堆满了报废的晶圆片，像是一座座失败的墓碑。
焦虑、暴躁、绝望的情绪像病毒一样在团队里蔓延。
一名年轻的研究员把防护面罩狠狠摔在操作台上，眼圈通红，声音嘶哑。
“许总，张老，放弃吧！我们已经连轴转了八十天了！这就是在烧钱！”
“那个多重曝光的算法，根本没办法和这台老古董匹配，每一次震动都会导致前功尽弃！”
张院士没说话，只是佝
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第710章 精度零点一零微米！ 重生99：开局睡了姐姐闺蜜
